簡要描述:EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀在非接觸模式下自動測量大型樣品的薄層電阻,最大可達300×300平方毫米(12×12英寸)。在手動樣品定位時,該設(shè)備會自動測量并顯示整個樣品區(qū)域的薄層電阻的準(zhǔn)確映射。測量設(shè)置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或超過 10,000 個測量點的高空間測量分辨率之間進行選擇。
產(chǎn)品分類
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品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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類型 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,電氣 |
EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀在非接觸模式下自動測量大型樣品的薄層電阻,最大可達300×300平方毫米(12×12英寸)。在手動樣品定位時,該設(shè)備會自動測量并顯示整個樣品區(qū)域的薄層電阻的準(zhǔn)確映射。測量設(shè)置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或超過 10,000 個測量點的高空間測量分辨率之間進行選擇。
EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀產(chǎn)品介紹:
EddyCus® map 2530系列在非接觸模式下自動測量大型樣品的薄層電阻,最大可達300×300平方毫米(12×12英寸)。在手動樣品定位時,該設(shè)備會自動測量并顯示整個樣品區(qū)域的薄層電阻的準(zhǔn)確映射。測量設(shè)置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或超過 10,000 個測量點的高空間測量分辨率之間進行選擇。
產(chǎn)品特點:
· 非接觸式
· 快速、高重復(fù)度測量
· 高分辨率成像
· 最大 300 x 300 mm(12")的樣品成像測量
· 封裝的導(dǎo)電層的表征
· 軟件集成分析功能,例如電阻均一性分布、線掃描、單點分析
· 測量數(shù)據(jù)保存和導(dǎo)出功能
· 缺陷識別、分析
產(chǎn)品優(yōu)勢:
· 非接觸式成像
· 高速 (5 分鐘測量10,000個檢測點)
· 重復(fù)性和精確性
· 高分辨率 (9 – 90,000個檢測點)
· 封裝后的膜層成像
· 均勻性和缺陷成像
產(chǎn)品參數(shù)
測量技術(shù) | 非接觸式渦流傳感器 | ||||
基材 | 晶圓(錠)、玻璃、箔等 | ||||
最大限度。掃描區(qū)域 | 12 英寸/300 毫米 x 300 毫米(根據(jù)要求更大) | ||||
邊緣效應(yīng)校正/排除 | 2 – 10 毫米(取決于尺寸、范圍、設(shè)置和要求) | ||||
最大限度。樣品厚度/傳感器間隙 | 3 / 5 / 10 / 15 毫米(由最厚的樣品定義) | ||||
金屬薄膜(如鋁、銅)的厚度測量 | 2 nm – 2 mm (根據(jù)薄層電阻) | ||||
掃描間距 | 1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 毫米(其他應(yīng)要求提供) | ||||
每次測量點數(shù)(方形樣品) | 0.5 分鐘 100 個測量點 3 分鐘 10,000 個測量點 | ||||
掃描時間 | 8 英寸/200 毫米 x 200 毫米,1 至 10 分鐘(1 – 10 毫米間距) 12 英寸/300 毫米 x 300 毫米,2 至 6 分鐘(2.5 – 25 毫米間距) | ||||
設(shè)備尺寸 (w/h/d) | 31.5" x 19.1" x 33.5" / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米 | ||||
重量 | 90公斤 | ||||
更多可用功能 | 金屬厚度成像、各向異性和薄層電阻傳感器 | ||||
VLSR | LSR | MSR | HSR | VHSR | |
范圍 [歐姆/平方] | 0.0001–0.1 | 0.1–10 | 0.1–100 | 10–2000 | 1,000–200,000 |
精度/偏差 | ± 1% | ± 1–3% | ± 3 – 5% | ||
重復(fù)性 (2σ) | < 0.5% | < 1% | < 0.5% |
軟件和設(shè)備操控:
· 人性化的軟件
· 實時測繪測量
· 易于使用的統(tǒng)計分析選項
· 預(yù)定義的測量和產(chǎn)品配方(尺寸、間距、閾值)
· CSV 和 pdf 導(dǎo)出
· 3 用戶級別
· 用于參數(shù)轉(zhuǎn)換的材料數(shù)據(jù)庫
· 邊緣效應(yīng)補償
· 數(shù)據(jù)的存儲和導(dǎo)入
· 數(shù)據(jù)集的導(dǎo)出(例如到 EddyEva、MS Excel、Origin)
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